![V8.jpg](/jp/files/default/2023-04/V8.jpg)
受圧部にサファイアを採用。MEMS加工技術を応用し耐デポ性能を改善した隔膜真空計です。
- 耐デポ性能向上によるダウンタイム低減
- 250℃まで使用可能、プロセスガスの高温化に対応
- 小型化によるフットプリント削減
カタログ
製品仕様書(スペックシート)
取扱説明書
10件
ローダーパッケージ/ドライバ
圧力センサ/真空計
CADデータ
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