受圧部にサファイアを採用。MEMS加工技術を応用し耐デポ性能を改善した隔膜真空計です。
- 耐デポ性能向上によるダウンタイム低減
- 250℃まで使用可能、プロセスガスの高温化に対応
- 小型化によるフットプリント削減
カタログ
製品仕様書(スペックシート)
取扱説明書
10件
ローダーパッケージ/ドライバ
圧力センサ/真空計
CADデータ
制御機器に関するお問い合わせ
コンタクトセンター
営業日:9:30~12:00/13:00~17:00
(土曜、日曜、祝祭日、および年末年始、春季、夏季の弊社休業日を除く)