流量センサ／マスフローコントローラ

マスフローコントローラ（MFC）は、自社開発のMEMSセンサと高度なPID技術により、ワイドレンジかつ高速・高精度な流量制御を実現します。 温度や圧力の変動に強く、半導体製造やバイオ、化学プラントなど、厳格な管理が求められる現場で品質向上と省エネを支えます。本ページでは、製品の仕組みや特長、最適な機種選定に役立つ情報をご紹介します。