고정밀도, 넓은 유량 범위를 실현한 질량 유량계 및 아즈빌이 개발한 MEMS 센서와 고도의 PID 기술로, 폭넓은 유량 범위의 고속 제어를 실현한 매스 플로우 컨트롤러 등이 구비되어 있습니다.
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