사파이어 격막 진공계 Model V8C/V8S Model No. Model V8C/V8S 수압부에 사파이어를 채용. MEMS 가공 기술을 응용하여 내(耐) Deposition 성능을 개선한 격막 진공계입니다. 개요 카탈로그 · 자료
사파이어 격막 진공계 Model SPG□□ Model No. Model SPG□□ 격막 진공계 Model SPG□□는 감압부에 사파이어를 사용한 정전용량식 압력 센서로, 높은 내구성 · 높은 신뢰성 · 높은 정밀도를 실현한 격막 진공계입니다. 개요 카탈로그 · 자료
인텔리전트 압력 센서 스위치 Model SPS300 Model No. Model SPS300 압력 검출부에 액체 씰 2중 다이어프램(SUS316L)과 반도체 압력 검출 소자(신개발)를 채용한 게이지압 측정용 마이크로컴퓨터 베이스, 높은 정밀도 및 고기능형 디지털 압력검출기입니다. 개요 카탈로그 · 자료
방폭형 압력 센서 Model SPS45E Model No. Model SPS45E 고객님들의 끊임없는 지지로, 압력 센서가 새로운 기능을 탑재하여 재탄생했습니다. 개요 카탈로그 · 자료