壓力感測器/真空計

受壓部採用藍寶石。採用MEMS加工技術改善了耐沉積性能的隔膜真空計。

隔膜真空計 型號 SPG□□ 是在感壓部使用藍寶石的電容式壓力感測器，實現了高耐久性、高可靠性、高精度的“日本國產”隔膜真空計。

一種採用液體密封雙重隔膜（SUS316L）和半導體壓力檢測元件（新開發）、用於測量表壓、基於微電腦的高精度和高功能的數位壓力檢測器。

深受客戶喜愛的壓力感測器增加了新的功能並更新替換。