壓力感測器/真空計

藍寶石隔膜真空計 型號 V8C/V8S

型號
V8C, V8S
V8.jpg

受壓部採用藍寶石。採用MEMS加工技術改善了耐沉積性能的隔膜真空計。 

  • 透過提高耐沉積性能,減少停機時間
  • 可使用至250℃,支援高溫化的過程氣體
  • 透過小型化減少佔用空間