多彈簧型膜片驅動器 形式 PSA□□ 型號 PSA1D, PSA1R, PSA2D, PSA2R, PSA3D, PSA3R, PSA4D, PSA4R 透過採用多彈簧以及供氣壓力高壓化實現小型、輕量化的膜片驅動器 摘要 檔案