質量流量控制器

這是一款高性能的品質流量控制器，通過新增的功能，如一目瞭然的大型LED和能夠詳細顯示控制狀態的液晶顯示器，解決流量控制的課題。

檢測部採用本公司獨創的「μF感測器」熱式流量感測器，是搭載有先進執行器控制技術的氣體用質量流量控制器。 利用μF感測器的特長，實現了寬廣流量控制範圍的快速響應。

該產品是本公司具有優異回應性和控制性的品質流量控制器，通過大幅縮小尺寸並發展數位通訊功能，有助於製造裝置的小型化、總成本的削減和製造現場的數位化轉型。

型號 MPC□□□□是盤面安裝型、可實現高精度流量控制的氣體質量流量控制器。