マスフローコントローラ

ひとめで制御状態が分かる大型LEDと詳細に制御状態が分かる液晶表示器をはじめとした新たな機能を追加し流量制御の課題を解決する高性能なマスフローコントローラです。

検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「マイクロフロー™」を使用し、「比例ソレノイドバルブ」と高度なアクチュエータ制御技術を融合した高性能デジタルマスフローコントローラです。

応答性・制御性に優れた 弊社マスフローコントローラを、大幅に小型化しデジタル通信機能を発展させることで 製造装置の小型化・トータルコスト削減・製造現場のDXに貢献する製品です。

形 MPC□□□□は、パネルマウントで高度な流量制御を実現するマスフローコントローラです。