매스 플로우 컨트롤러

제어 상태를 한눈에 알 수 있는 대형 LED 및 제어 상태를 상세히 알 수 있는 액정 표시기를 비롯한 새로운 기능을 추가해, 유량 제어의 과제를 해결하는 고성능 매스 플로우 컨트롤러입니다.

검출부에 아즈빌 자체 개발한 열식 유속 센서를 사용하여 「비례 솔레노이드 밸브」와 고도의 액츄에이터 제어 기술을 융합한 고성능 디지털 매스 플로우 컨트롤러입니다.

응답성 및 제어성이 뛰어난 당사 매스 플로우 컨트롤러를 대폭 소형화하여 디지털 통신 기능을 발전시킴으로써 제조 장치의 소형화, 토탈 비용 절감, 제조 현장의 DX에 공헌하는 제품입니다.

Model MPC□□□□는, 패널 마운트로 고도의 유량 제어를 실현하는 매스 플로우 컨트롤러입니다.