Model MPC□□□□는, 패널 마운트로 고도의 유량 제어를 실현하는 매스 플로우 컨트롤러입니다.
- 소형 · 경량
- 간단 조작 · 간단 설치
- 쉬운 오퍼레이션
- 소형・경량 (마스크 사이즈 : 48mm, 깊이 : 73.7mm, 300g)
- 간단 조작 및 보기 쉬운 디지털 표시
- 고속 제어(설정값 도달까지 1 sec）
- 다양한 기능을 장비
- 유량 적산
- 유량 경보 출력
- 멀티 유량 설정
- 가스 종류 변경
- 슬로우 스타트
- 자동 차단 기능
- 아날로그 입출력(Opt.)
- RS-485 통신 기능(Opt.)
- PC 로더 등
- 설치 용이성
사양
| Model | MPC9500 | MPC0002 | MPC0005 | MPC0020 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 밸브 방식 | 비례 솔레노이드 밸브 | ||||
| 밸브 동작 | 비통전 시 - 닫힘(N.C.) | ||||
| 표준 풀 스케일 유량 | 0.500 | 2.00 | 5.00 | 20.0 | |
| (질소 환산값) | L/min(standard) | L/min(standard) | L/min(standard) | L/min(standard) | |
| 표준 대응 가스 종류 | 질소/공기, 아르곤, 탄산 가스(CO2) | ||||
| 단, 염소, 황, 산 등의 부식 성분이 함유되지 않는 건조 기체일 것. | |||||
| 또, 더스트 및 오일 미스트가 함유되지 않는 청정 기체일 것. | |||||
| 압력 | 동작 차압 범위 | 0.3 MPa 이하 | 0.05～0.3Mpa | ||
| 내압 | 0.5MPa(gauge) | ||||
| 유량 설정 | 설정 방법 | (1)키 조작 (2) 외부 설정 전압 입력 (아날로그 입출력 기능이 있는 모델만 해당) (3)로더 통신 (Model MPC 로다 패키지 MLP200 필요) (4) 통신 (RS-485 통신 기능 포함 모델만 해당) | |||
| 이벤트 출력 | 출력수 | 2점 | |||
| 외부 접점 입력 | 입력수 | 2점 | |||
| 전원 | 정격 | DC 24V, 소비전류 300mA 최대 | |||
| 접가스부 재질 | 황동(니켈도금),스테인리스,테프론,불소고무 | ||||
| 접속 방식 | Rc1/8 | ||||
| 질량 | 약 300g | ||||
제품 관련 문의
대표 전화
영업일：9:00~12:00 / 13:00~18:00
(주말, 공휴일 제외)