매스 플로우 컨트롤러

디지털 매스 플로우 컨트롤러 Model MQV□□□□

Model No.
MQV□□□□
MQV4

검출부에 아즈빌 자체 개발한 열식 유속 센서를 사용하여 「비례 솔레노이드 밸브」와 고도의 액츄에이터 제어 기술을 융합한 고성능 디지털 매스 플로우 컨트롤러입니다.

  • 300ms의 고속 제어
  • 저동작 차압
  • -10~+60℃의 넓은 허용 온도 범위

카탈로그

4건
[카탈로그 / 한국어] 기체용 질량 유량계 셀렉션 가이드
자료 번호
CP-PC-1333K-04
Model No.
CMS, CMG, MVF, MCS, MCW, F4H, MQV, F4Q
[Catalog / English] Digital Mass Flow Controller Model MQV_ _ _ _
자료 번호
CP-PC-1453E
Model No.
MQV_ _ _ _
[Catalog / English] More uniform application of wafer cleaning chemicals!
자료 번호
CP-PC-9000-009E
Model No.
MQV_ _ _ _
[Catalog / English] FOUP nitrogen purge flow control Model MQV_ _ _ _
자료 번호
CP-PC-9000-006E
Model No.
MQV_ _ _ _

제품 사양서(스펙 시트)

8건
[Spec Sheet / English] Digital mass flow controller Semi-standard gas models
자료 번호
CP-SS-1864E
Model No.
MQV_ _ _ _
[Spec Sheet / English] Digital mass flow controller Standard gas, medium flow rate models
자료 번호
CP-SS-1863E
Model No.
MQV_ _ _ _
[Spec Sheet / English] Digital mass flow controller Standard gas, low flow rate models
자료 번호
CP-SS-1862E
Model No.
MQV_ _ _ _
[Spec Sheet / English] Digital Mass Flow Controller for Hydrogen and Helium Gases
자료 번호
CP-SS-1836E
Model No.
MQV_ _ _ _
[사양서 / 한국어] 디지털 매스 플로우 컨트롤러 표준가스ᆞ소유량 모델 Model MQV□□□□
자료 번호
CP-SS-1862K
Model No.
MQV_ _ _ _
[사양서 / 한국어] 디지털 매스 플로우 컨트롤러 준표준가스 모델 Model MQV□□□□
자료 번호
CP-SS-1864K
Model No.
MQV_ _ _ _
[사양서 / 한국어] 디지털 매스 플로우 컨트롤러 표준가스ᆞ중유량 모델 Model MQV□□□□
자료 번호
CP-SS-1863K
Model No.
MQV_ _ _ _
[사양서 / 한국어] 디지털 매스 플로우 컨트롤러 수소ᆞ헬륨가스 대응 Model MQV□□□□
자료 번호
CP-SS-1836K
Model No.
MQV_ _ _ _

취급 설명서

12건
[매뉴얼 / 한국어] 디지털 매스 플로우 컨트롤러 Model MQV9005/9020/9050/9200/9500/0002/0005/0010/0020/0050/0100/0200/0500/1000 취급설명서 통신기능편
자료 번호
CP-SP-1197K
Model No.
MQV_ _ _ _
[Manual / English] Digital Mass Flow Controller for Hydrogen and Helium Gases Model MQV9020 / 9050 / 9500 / 0005 / 0010 / 0050 / 0200 User's Manual
자료 번호
CP-SP-1205E
Model No.
MQV_ _ _ _
[Manual / English] Model MQV_ _ _ _ Digital Mass Flow Controller Communication
자료 번호
CP-SP-1197E
Model No.
MQV_ _ _ _
[매뉴얼 / 한국어] 디지털 매스 플로우 컨트롤러 Model MQV0100 보충설명서
자료 번호
CP-UM-5625K
Model No.
MQV_ _ _ _
[Manual / English] Digital Mass Flow Controller Further Notes on Semi-Standard Gas Models
자료 번호
CP-UM-5397E
Model No.
MQV_ _ _ _
[Manual / English] Digital Mass Flow Controllers Further Notes on Model MQV0100
자료 번호
CP-UM-5625E
Model No.
MQV_ _ _ _
[매뉴얼 / 한국어] 디지털 매스 플로우 컨트롤러용 로더 패키지 Model MLP100 취급설명서
자료 번호
CP-UM-5442K
Model No.
MLP100, MQV_ _ _ _
[매뉴얼 / 한국어] 디지털 매스 플로우 컨트롤러 고정밀도품 보충설명서
자료 번호
CP-UM-5420K
Model No.
MQV_ _ _ _
[매뉴얼 / 한국어] 디지털 매스 플로우 컨트롤러 준표준가스 대응품 보충설명서
자료 번호
CP-UM-5397K
Model No.
MQV_ _ _ _

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