質量流量控制器

數位質量流量控制器　型號 MQV□□□□

型號
MQV□□□□
MQV4

檢測部採用了本公司獨創的「μF感測器」熱式流量感測器，是搭載有先進執行器控制技術的氣體用質量流量控制器。 利用μF感測器的特長，實現了寬廣流量控制範圍的快速響應。

型錄

4件物品
[型錄]數位質量流量控制器 型號MQV
檔案編號
CP-PC-1453T
型號
MQV
[Catalog / English] Digital Mass Flow Controller Model MQV_ _ _ _
檔案編號
CP-PC-1453E
型號
MQV_ _ _ _
[Catalog / English] FOUP nitrogen purge flow control Model MQV_ _ _ _
檔案編號
CP-PC-9000-006E
型號
MQV_ _ _ _
[Catalog / English] More uniform application of wafer cleaning chemicals!
檔案編號
CP-PC-9000-009E
型號
MQV_ _ _ _

產品規格書

4件物品
[Spec Sheet / English] Digital Mass Flow Controller for Hydrogen and Helium Gases
檔案編號
CP-SS-1836E
型號
MQV_ _ _ _
[Spec Sheet / English] Digital mass flow controller Standard gas, low flow rate models
檔案編號
CP-SS-1862E
型號
MQV_ _ _ _
[Spec Sheet / English] Digital mass flow controller Standard gas, medium flow rate models
檔案編號
CP-SS-1863E
型號
MQV_ _ _ _
[Spec Sheet / English] Digital mass flow controller Semi-standard gas models
檔案編號
CP-SS-1864E
型號
MQV_ _ _ _

使用說明書

7件物品
數位質量流量控制器 MQV-V 系列 特殊氣體對應品 補充說明書
檔案編號
CP-UM-5397C
型號
MQV_ _ _ _
[Manual / English] User's Manual for Loader Package Model MLP100 for Digital Mass Flow Controller
檔案編號
CP-SP-1216E
型號
MQV_ _ _ _, MLP100
[Manual / English] Digital Mass Flow Controllers Further Notes on Model MQV0100
檔案編號
CP-UM-5625E
型號
MQV_ _ _ _
[Manual / English] Digital Mass Flow Controller Further Notes on Semi-Standard Gas Models
檔案編號
CP-UM-5397E
型號
MQV_ _ _ _
[Manual / English] Model MQV_ _ _ _ Digital Mass Flow Controller Communication
檔案編號
CP-SP-1197E
型號
MQV_ _ _ _
[Manual / English] Digital Mass Flow Controller for Hydrogen and Helium Gases Model MQV9020 / 9050 / 9500 / 0005 / 0010 / 0050 / 0200 User's Manual
檔案編號
CP-SP-1205E
型號
MQV_ _ _ _
[Manual / English] Digital Mass Flow Controller Standard Gas Model MQV9005 / 9020 / 9200 / 9500 / 0002 / 0005 / 0020 / 0050 / 0200 / 0500 User's Manual
檔案編號
CP-SP-1204E
型號
MQV_ _ _ _

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