數位質量流量控制器　型號 MQV□□□□

檢測部採用了本公司獨創的「μF感測器」熱式流量感測器，是搭載有先進執行器控制技術的氣體用質量流量控制器。 利用μF感測器的特長，實現了寬廣流量控制範圍的快速響應。