수압부에 사파이어를 채용. MEMS 가공 기술을 응용하여 내(耐) Deposition 성능을 개선한 격막 진공계입니다.
- 내(耐) Deposition 성능 향상에 의한 다운 타임 저감
- 250℃까지 사용 가능, 프로세스 가스의 고온화에 대응
- 소형화에 의한 설치 면적의 감소
로더 패키지/드라이버
압력 센서/진공계
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영업일：9:00~12:00 / 13:00~18:00
(주말, 공휴일 제외)
압력 센서/진공계
사파이어 격막 진공계 Model V8C/V8S
사파이어 격막 진공계 Model V8C/V8S
Model No.
Model V8C/V8S