사파이어 격막 진공계 Model V8C/V8S

수압부에 사파이어를 채용. MEMS 가공 기술을 응용하여 내(耐) Deposition 성능을 개선한 격막 진공계입니다.

• 내(耐) Deposition 성능 향상에 의한 다운 타임 저감
• 250℃까지 사용 가능, 프로세스 가스의 고온화에 대응
• 소형화에 의한 설치 면적의 감소