圧力センサ/真空計

サファイア隔膜真空計 形 V8C/V8S

形番
V8C, V8S
V8.jpg

受圧部にサファイアを採用。MEMS加工技術を応用し耐デポ性能を改善した隔膜真空計です。

  • 耐デポ性能向上によるダウンタイム低減
  • 250℃まで使用可能、プロセスガスの高温化に対応
  • 小型化によるフットプリント削減
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A-2-3-9_成膜装置
半導体 成膜装置
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A-2-3-9_エッチング装置
半導体 エッチング装置

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