受壓部採用藍寶石。採用MEMS加工技術改善了耐沉積性能的隔膜真空計。
- 透過提高耐沉積性能，減少停機時間
- 可使用至250℃，支援高溫化的過程氣體
- 透過小型化減少佔用空間
藍寶石隔膜真空計型號 V8，透過運用MEMS加工技術的感測器，改善了耐沉積性能。
受壓部採用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機械特性優異的單晶體藍寶石，型號 V8S現在可以支援在高溫環境中使用。
透過提高耐沉積性能，減少停機時間
運用MEMS加工技術，改善偏移量。
應力平衡結構
讓感壓部位的外圍留有厚度，
以抵銷外圍和中心部位的應力平衡，
減少零點偏移
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凹凸感測器
感壓部表面進行凹凸加工，
並將囊膜分割，減少沉積物的應力影響
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可應對過程氣體的更高溫度
透過基板部分和感測器部的分離及使用材料的改善，型號 V8S現在可以支援在高溫環境中使用。
透過小型化減少佔用空間
提高內部元件的空間利用率，減少體積。（與本公司以往產品相比）
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