압력 센서/진공계

사파이어 격막 진공계 Model SPG□□

Model No.
Model SPG□□
SPGALL

격막 진공계 Model SPG□□는 감압부에 사파이어를 사용한 정전용량식 압력 센서로, 높은 내구성 · 높은 신뢰성 · 높은 정밀도를 실현한 격막 진공계입니다.

  • 스트레스가 많은 환경에서도 제로점 시프트하기 어려운 구조
  • 설비의 다운타임 저감에 공헌
  • 계기의 상태 파악이 용이

카탈로그

3건
[Catalog / English] Higher quality by stabilizing production processes (Vacuum equipment)
자료 번호
CP-PC-9010-004E
Model No.
SPG_ _ 
[Catalog / English] Sapphire Capacitance Diaphragm Gauge Model SPG5_ / 6_ / 7_
자료 번호
CP-PC-1572E
Model No.
SPG _ _
[Catalog / English] Control Products for Instrumentation Selection Guide
자료 번호
CP-PC-1391E
Model No.
C1A,C1M,C25,C26,C35,C36,C7,NX,NX-SVG,YY,SPG,PTG,PGM,PG5,PU,ECM,ACT,AGVB,AGVM,VFR,AVP,SR,ARF

제품 사양서(스펙 시트)

2건
[Spec Sheet / English] Sapphire capacitance diaphragm gauge Model SPG_ _
자료 번호
CP-SS-1881E
Model No.
SPG_ _
[사양서 / 한국어] 사파이어 격막진공계 Model SPG5A/6A
자료 번호
CP-SS-1881K
Model No.
SPG_ _

취급 설명서

3건
[Manual / English] Sapphire Capacitance Diaphragm Gauge Model SPG _ _ User's Manual
자료 번호
CP-SP-1400E
Model No.
SPG_ _
[매뉴얼 / 한국어] 사파이어 격막진공계 Model SPG□□ 취급설명서
자료 번호
CP-SP-1400K
Model No.
SPG_ _
[Manual / English] User’s Manual for Smart Loader Package Model SLP-SP5 for Sapphire Capacitance Diaphragm Gauge Model SPG _ _
자료 번호
CP-UM-5499E
Model No.
SLP-SP5

로더 패키지/드라이버

압력 센서/진공계

사파이어 격막 진공계 EtherCAT 통신 모델 Model SPG9
무상판
사파이어 격막 진공계 Model SPG□□
버전 업
사파이어 격막 진공계 EtherCAT 통신 모델 Model SPG9 : 각종 설정 파일 다운로드
설정 파일 등

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