
격막 진공계 Model SPG□□는 감압부에 사파이어를 사용한 정전용량식 압력 센서로, 높은 내구성 · 높은 신뢰성 · 높은 정밀도를 실현한 격막 진공계입니다.
- 스트레스가 많은 환경에서도 제로점 시프트하기 어려운 구조
- 설비의 다운타임 저감에 공헌
- 계기의 상태 파악이 용이
사파이어 격막 진공계 Model SPG5/6/7은 수압부에 높은 내식성 및 높은 내열성이며 기계 특성이 우수한 단결정 사파이어를 사용하여 정전용량 검출에 의해 고온 계측 환경에서도 높은 계측 재현성을 실현하고 있습니다.
앞선 신호 처리 기술에 의해 온도 특성 및 직선성 등의 오차가 적은 계측을 실현, 마이크로 머시닝 기술로 형성된 사파이어 센서에 의해 소형 · 경량화도 함께 실현한 자기 가열 타입의 격막 진공계입니다.
품질 향상에 기여
스트레스가 많은 환경에서 자주 사용되는 진공계는, 다양한 요인으로 인해 제로점 차이가 발생하기 쉬운 제품입니다. 진공계의 제로점 차이는 제어량에 영향을 미치므로 최종 제품의 품질에도 영향을 미칩니다.
사파이어 격막 진공계는, 제로점이 시프트하기 어려운 구조를 채용했습니다.
생산성 향상에 기여
장비의 다운 타임을 줄입니다. 불필요한 시간을 줄이기 위한 기능을 탑재했습니다.
프로세스 개선에 기여
기존에는 압력 신호의 변화만 알 수 있었던 다양한 정보를 가시화하여 고객의 프로세스 개선에 기여합니다.
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영업일:9:00~12:00 / 13:00~18:00
(주말, 공휴일 제외)