受圧部にサファイアを採用。MEMS加工技術を応用し耐デポ性能を改善した隔膜真空計です。
- 耐デポ性能向上によるダウンタイム低減
- 250℃まで使用可能、プロセスガスの高温化に対応
- 小型化によるフットプリント削減
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営業日：9:30～12:00／13:00～17:00
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圧力センサ／真空計
サファイア隔膜真空計 形 V8C/V8S
サファイア隔膜真空計 形 V8C/V8S
形番
V8C, V8S