マスフローメータ／マスフローセンサ

気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ（マイクロフローセンサ）」を使用した、質量流量計です。

ガス流量モニタ　形 CMGは小型、高性能な燃焼ガスモニタ用質量流量計です。

形 MCSは、数百万台の出荷実績を有する独自のMEMSセンサを搭載した高速応答、小型・ 軽量のマスフローセンサです。

大流量マスフローメータ 形 CML□□□は、検出部に 当社独自開発の熱式流速センサ「μFセンサ」を採用 した、高精度・ワイドレンジ・高信頼性を特長とす る気体用の大流量質量流量計です。

中圧ガスメータ 形 CMP□□□は、検出部に 弊社独自開発の熱式流速センサである 「μFセンサ（マイクロフローセンサ）」を 使用した次世代の中圧ガス取引メータです。