マスフローメータ／マスフローセンサ

気体用マスフローメータ　形 CMS□□□□

形番
CMS□□□□
CMS

気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ（マイクロフローセンサ）」を使用した、質量流量計です。

  • 多種ガスに対応
  • 低圧損
  • ワイドレンジアビリティ

カタログ

3件
【カタログ／日本語】気体用マスフローメータ
資料番号
CP-PC-1280
形番
CMS
【カタログ／中国語】気体用マスフローメータ(中文)
資料番号
CP-PC-1280C
形番
CMS
【カタログ／英語】GAS MASS FLOW METER
資料番号
CP-PC-1280E
形番
CMS

製品仕様書（スペックシート）

6件
【製品仕様書／日本語】水素・ヘリウムガス対応モデル 気体用マスフローメータ
資料番号
CP-SS-1797
形番
CMS
【製品仕様書／英語】Gas Mass Flow Meter for Hydrogen and Helium Gases
資料番号
CP-SS-1797E
形番
CMS
【製品仕様書／韓国語】気体用マスフローメータ 形 CMS□□□□ 水素・ヘリウムガス対応モデル（韓国語）
資料番号
CP-SS-1797K
形番
CMS□□□□
【製品仕様書／日本語】気体用マスフローメータ SUS, SUS316モデル
資料番号
CP-SS-1809
形番
CMS
【製品仕様書／英語】Gas Mass Flow Meter SUS/SUS316
資料番号
CP-SS-1809E
形番
CMS
【製品仕様書／韓国語】気体用マスフローメータ（SUS・SUS316モデル）（韓国語）
資料番号
CP-SS-1809K
形番
CMS

取扱説明書

15件
【取扱説明書／英語】Gas Mass Flow Meter For Hydrogen and Helium Gases Model CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000 Uesr's Manual
資料番号
CP-SP-1118E
形番
CMS0010, CMS0050, CMS0200, CMS0500, CMS1000, CMS2000
【取扱説明書／日本語】気体用マスフローメータ 取扱説明書 通信機能編
資料番号
CP-SP-1184
形番
CMF,CMS
【取扱説明書／中国語】気体用マスフローメータ 取扱説明書 通信機能編 形 CMS□□□□/CMF□□□□ / Gas Mass Flow Meter Model CMS_ _ _ _/CMF_ _ _ _User’s Manual for "Communication Functions" (中文)
資料番号
CP-SP-1184CD
形番
CMF□□□□,CMS□□□□
【取扱説明書／英語】CMS□□□□ Gas Mass Flow Meter User's Manual for Communication Functions
資料番号
CP-SP-1184E
形番
CMF□□□□,CMS□□□□
【取扱説明書／英語】Gas Mass Flow Meter SUS/SUS316 Models CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500 User's Manual
資料番号
CP-SP-1189E
形番
CMS_ _ _ _
【取扱説明書／日本語】気体用マスフローメータ 形 CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000 水素・ヘリウムガス対応 取扱説明書
資料番号
CP-UM-5207
形番
CMS□□□□
【取扱説明書／中国語】気体用マスフローメータ　水素・ヘリウムガス対応　CMS□□□□（中文）
資料番号
CP-UM-5207C
形番
CMS□□□□
【取扱説明書／中国語】気体用マスフローメータ 形 CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000 水素・ヘリウムガス対応 取扱説明書 / Gas Mass Flow Meter For Hydrogen and Helium Gases Model CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000 Uesr's Manual (中文)
資料番号
CP-UM-5207CD
形番
CMS□□□□
【取扱説明書／中国語(繁体)】気体用マスフローメータ 形 CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000 水素・ヘリウムガス対応 取扱説明書(中文)
資料番号
CP-UM-5207T
形番
CMS□□□□

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