マスフローメータ／マスフローセンサ

気体用マスフローメータ　形 CMS□□□□

形番
CMS□□□□
CMS

気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ（マイクロフローセンサ）」を使用した、質量流量計です。

  • 多種ガスに対応
  • 低圧損
  • ワイドレンジアビリティ

取扱説明書

14件
【取扱説明書／日本語】気体用マスフローメータ 形 CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000 水素・ヘリウムガス対応 取扱説明書
資料番号
CP-UM-5207
形番
CMS□□□□
【取扱説明書／日本語】気体用マスフローメータ 形CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500 SUS/SUS316モデル 取扱説明書
資料番号
CP-UM-5384
形番
CMS□□□□
【取扱説明書／中国語】気体用マスフローメータ 取扱説明書 通信機能編 形 CMS□□□□/CMF□□□□ / Gas Mass Flow Meter Model CMS_ _ _ _/CMF_ _ _ _User’s Manual for "Communication Functions" (中文)
資料番号
CP-SP-1184CD
形番
CMF□□□□,CMS□□□□
【取扱説明書／英語】CMS□□□□ Gas Mass Flow Meter User's Manual for Communication Functions
資料番号
CP-SP-1184E
形番
CMF□□□□,CMS□□□□
【取扱説明書／英語】Gas Mass Flow Meter SUS/SUS316 Models CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500 User's Manual
資料番号
CP-SP-1189E
形番
CMS_ _ _ _

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