기체용 매스 플로우 메타 Model CMS□□□□

기체용 매스 플로우 메타 Model CMS□□□□는 검출부에 아즈빌이 독자 개발한 MEMS 센서가 탑재된 질량 유량계입니다.

• 다양한 가스에 가능
• 낮은 압력 손실
• 넓은 레인지 어빌리티