매스 플로우 메타 / 매스 플로우 센서

기체용 매스 플로우 메타 Model CMS□□□□

Model No.
CMS□□□□
CMS

기체용 매스 플로우 메타 Model CMS□□□□는 검출부에 아즈빌이 독자 개발한 MEMS 센서가 탑재된 질량 유량계입니다.

  • 다양한 가스에 가능
  • 낮은 압력 손실
  • 넓은 레인지 어빌리티

카탈로그

2건
[카탈로그 / 한국어] 기체용 질량 유량계 셀렉션 가이드
자료 번호
CP-PC-1333K-04
Model No.
CMS, CMG, MVF, MCS, MCW, F4H, MQV, F4Q
[Catalog / English] GAS MASS FLOW METER
자료 번호
CP-PC-1280E
Model No.
CMS

제품 사양서(스펙 시트)

4건
[사양서 / 한국어] 수소ᆞ헬륨가스 대응 모델 기체용 매스 플로우 메타 Model CMS□□□□
자료 번호
CP-SS-1797K
Model No.
CMS _ _ _ _
[Spec Sheet / English] Gas Mass Flow Meter SUS / SUS316
자료 번호
CP-SS-1809E
Model No.
CMS
[Spec Sheet / English] Gas Mass Flow Meter for Hydrogen and Helium Gases
자료 번호
CP-SS-1797E
Model No.
CMS
[사양서 / 한국어] 기체용 매스 플로우 메타(SUSᆞSUS316 모델) Model CMS□□□□
자료 번호
CP-SS-1809K
Model No.
CMS

취급 설명서

3건
[Manual / English] Gas Mass Flow Meter For Hydrogen and Helium Gases Model CMS0010 / 0050 / 0200 / 0500 / 1000 / 2000 Uesr's Manual
자료 번호
CP-SP-1118E
Model No.
CMS0010, CMS0050, CMS0200, CMS0500, CMS1000, CMS2000
[Manual / English] Gas Mass Flow Meter SUS / SUS316 Models CMS9500 / 0002 / 0005 / 0020 / 0050 / 0200 / 0500 User's Manual
자료 번호
CP-SP-1189E
Model No.
CMS_ _ _ _
[Manual / English] CMS_ _ _ _ Gas Mass Flow Meter User's Manual for Communication Functions
자료 번호
CP-SP-1184E
Model No.
CMF_ _ _ _,CMS_ _ _ _

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