圧力センサ／真空計

受圧部にサファイアを採用。MEMS加工技術を応用し耐デポ性能を改善した隔膜真空計です。

隔膜真空計 形 SPG□□は感圧部にサファイアを使用した静電容量式圧力センサで高耐久性、高信頼性、高精度を実現した”国産”の隔膜真空計です。

圧力検出部に液封二重ダイアフラム（SUS316L）と半導体圧力検出素子（新開発）を採用したゲージ圧測定用のマイコンベース・高精度・高機能形のデジタル圧力検出器です。

お客さまから支持され続けた圧力センサが、新たな機能を搭載して生まれ変わりました。