マスフローコントローラ

デジタルマスフローコントローラ　形 MQV□□□□

形番
MQV□□□□
MQV4

検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「マイクロフロー™」を使用し、「比例ソレノイドバルブ」と高度なアクチュエータ制御技術を融合した高性能デジタルマスフローコントローラです。

  • 300msの高速制御
  • 低動作差圧
  • -10～+60℃の広い許容温度範囲

カタログ

6件
【カタログ／英語】Digital Mass Flow Controller Mdel MQV_ _ _ _
資料番号
CP-PC-1453E
形番
MQV_ _ _ _
【カタログ／英語】FOUP nitrogen purge flow control Model MQV_ _ _ _
資料番号
CP-PC-9000-006E
形番
MQV_ _ _ _
【カタログ／英語】More uniform application of wafer cleaning chemicals!
資料番号
CP-PC-9000-009E
形番
MQV_ _ _ _
【カタログ／日本語】デジタルマスフローコントローラ　形 MQV□□□□
資料番号
CP-PC-1453
形番
MQV□□□□
【カタログ／中国語】デジタルマスフローコントローラ（中文）
資料番号
CP-PC-1453C
形番
MQV□□□□
【カタログ／日本語】FOUP内窒素パージ流量制御
資料番号
CP-PC-9000-006
形番
MQV□□□□

製品仕様書（スペックシート）

12件
【製品仕様書／英語】Digital Mass Flow Controller for Hydrogen and Helium Gases
資料番号
CP-SS-1836E
形番
MQV_ _ _ _
【製品仕様書／英語】Digital mass flow controller Standard gas, low flow rate models
資料番号
CP-SS-1862E
形番
MQV_ _ _ _
【製品仕様書／英語】Digital mass flow controller Standard gas, medium flow rate models
資料番号
CP-SS-1863E
形番
MQV_ _ _ _
【製品仕様書／英語】Digital mass flow controller Semi-standard gas models
資料番号
CP-SS-1864E
形番
MQV_ _ _ _
【製品仕様書／日本語】水素・ヘリウムガス対応　デジタルマスフローコントローラ
資料番号
CP-SS-1836
形番
MQV□□□□
【製品仕様書／韓国語】デジタルマスフローコントローラ　水素・ヘリウムガス対応（韓国語）
資料番号
CP-SS-1836K
形番
MQV□□□□
【製品仕様書／日本語】デジタルマスフローコントローラ 標準ガス・小流量モデル
資料番号
CP-SS-1862
形番
MQV□□□□
【製品仕様書／韓国語】デジタルマスフローコントローラ　標準ガス・小流量モデル（韓国語）
資料番号
CP-SS-1862K
形番
MQV□□□□
【製品仕様書／日本語】標準ガス・中流量モデル デジタルマスフローコントローラ
資料番号
CP-SS-1863
形番
MQV□□□□

取扱説明書

25件
【取扱説明書／韓国語】デジタルマスフローコントローラ　形 MQV9005/9020/9200/9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500　取扱説明書（韓国語）
資料番号
CP-UM-5395K
形番
MQV□□□□
【取扱説明書／ドイツ語】Digital Mass Flow Controller Standard Gas Model MQV9005/9020/9200/9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500 User's Manual
資料番号
CP-SP-1204G
形番
MQV
【取扱説明書／英語】Digital Mass Flow Controller Standard Gas Model MQV9005/9020/9200/9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500 User's Manual
資料番号
CP-SP-1204E
形番
MQV_ _ _ _
【取扱説明書／日本語】デジタルマスフローコントローラ用ローダパッケージ 形 MLP100
資料番号
CP-UM-5442
形番
MLP100, MQV□□□□
【取扱説明書／韓国語】デジタルマスフローコントローラ用ローダパッケージ 形 MLP100(韓国語)
資料番号
CP-UM-5442K
形番
MLP100, MQV□□□□
【取扱説明書／英語】Model MQV_ _ _ _ Digital Mass Flow Controller Communication
資料番号
CP-SP-1197E
形番
MQV_ _ _ _
【取扱説明書／英語】Digital Mass Flow Controller for Hydrogen and Helium Gases Model MQV9020/9050/9500/0005/0010/0050/0200 User’s Manual
資料番号
CP-SP-1205E
形番
MQV_ _ _ _
【取扱説明書／ドイツ語】Model MQV_ _ _ _ Digital MassFlow Controller (For Hydrogen and Helium Gases)
資料番号
CP-SP-1205G
形番
MQV_ _ _ _
【取扱説明書／英語】Digital Mass Flow Controller Further Notes on Semi-Standard Gas Models
資料番号
CP-UM-5397E
形番
MQV_ _ _ _

ローダーパッケージ／ドライバ

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バージョンアップ

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