検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「マイクロフロー™」を使用し、「比例ソレノイドバルブ」と高度なアクチュエータ制御技術を融合した高性能デジタルマスフローコントローラです。
- 300msの高速制御
- 低動作差圧
- -10~+60℃の広い許容温度範囲
カタログ
6件
製品仕様書(スペックシート)
12件
取扱説明書
25件
ローダーパッケージ/ドライバ
マスフローコントローラ
CADデータ
制御機器に関するお問い合わせ
コンタクトセンター
営業日:9:30~12:00/13:00~17:00
(土曜、日曜、祝祭日、および年末年始、春季、夏季の弊社休業日を除く)