マスフローコントローラ

デジタルマスフローコントローラ 形 MQV□□□□

形番
MQV□□□□
MQV4

検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「マイクロフロー™」を使用し、「比例ソレノイドバルブ」と高度なアクチュエータ制御技術を融合した高性能デジタルマスフローコントローラです。

  • 300msの高速制御
  • 低動作差圧
  • -10~+60℃の広い許容温度範囲

製品仕様書(スペックシート)

取扱説明書

ローダーパッケージ/ドライバ

マスフローコントローラ

 

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