マスフローコントローラ

デジタルマスフローコントローラ　形 MQV□□□□

形番
MQV□□□□
MQV4

検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「マイクロフロー™」を使用し、「比例ソレノイドバルブ」と高度なアクチュエータ制御技術を融合した高性能デジタルマスフローコントローラです。

  • 300msの高速制御
  • 低動作差圧
  • -10～+60℃の広い許容温度範囲

製品仕様書（スペックシート）

12件
【製品仕様書／韓国語】デジタルマスフローコントローラ　標準ガス・中流量モデル（韓国語）
資料番号
CP-SS-1863K
形番
MQV□□□□
【製品仕様書／日本語】デジタルマスフローコントローラ 形 MQV□□□□ 準標準ガスモデル
資料番号
CP-SS-1864
形番
MQV□□□□
【製品仕様書／韓国語】デジタルマスフローコントローラ　準標準ガスモデル　（韓国語）
資料番号
CP-SS-1864K
形番
MQV□□□□

取扱説明書

25件
【取扱説明書／英語】Digital Mass Flow Controllers Further Notes on Model MQV0100
資料番号
CP-UM-5625E
形番
MQV_ _ _ _
【取扱説明書／英語】User's Manual for Loader Package Model MLP100 for Digital Mass Flow Controller
資料番号
CP-SP-1216E
形番
MQV_ _ _ _, MLP100
【取扱説明書／日本語】デジタルマスフローコントローラ　形 MQV9005/9020/9050/9200/9500/0002/0005/0010/0020/0050/0100/0200/0500/1000　通信機能編
資料番号
CP-SP-1197
形番
MQV□□□□
【取扱説明書／韓国語】デジタルマスフローコントローラ　形 MQV9005/9020/9050/9200/9500/0002/0005/0010/0020/0050/0100/0200/0500　取扱説明書 通信機能編（韓国語）
資料番号
CP-SP-1197K
形番
MQV□□□□
【取扱説明書／日本語】デジタルマスフローコントローラ　形MQV9005/9020/9200/9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500　取扱説明書
資料番号
CP-UM-5395
形番
MQV□□□□
【取扱説明書／中国語】デジタルマスフローコントローラ　形 MQV□□□□ (中文)
資料番号
CP-UM-5395C
形番
MQV□□□□
【取扱説明書／日本語】デジタルマスフローコントローラ 水素・ヘリウムガス対応 形　MQV9020/9050/9500/0005/0010/0050/0200 取扱説明書
資料番号
CP-UM-5396
形番
MQV□□□□
【取扱説明書／中国語】デジタルマスフローコントローラ　水素ヘリウムガス対応 形 MQV□□□□ (中文)
資料番号
CP-UM-5396C
形番
MQV□□□□
【取扱説明書／日本語】デジタルマスフローコントローラ 準標準ガス対応品　補足説明書
資料番号
CP-UM-5397
形番
MQV□□□□

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