マスフローメータ/マスフローセンサ

気体用マスフローメータ 形 CMS□□□□

形番
CMS□□□□
CMS

気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用した、質量流量計です。

  • 多種ガスに対応
  • 低圧損
  • ワイドレンジアビリティ

カタログ

製品仕様書(スペックシート)

取扱説明書

制御機器に関するお問い合わせ

コンタクトセンター

050-1807-3520

営業日:9:30~12:00/13:00~17:00
(土曜、日曜、祝祭日、および年末年始、春季、夏季の弊社休業日を除く)