マスフローメータ/マスフローセンサ

気体用マスフローメータ 形 CMS□□□□

形番
CMS□□□□
CMS

気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用した、質量流量計です。

  • 多種ガスに対応
  • 低圧損
  • ワイドレンジアビリティ

取扱説明書

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