気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ（マイクロフローセンサ）」を使用した、質量流量計です。
- 多種ガスに対応
- 低圧損
- ワイドレンジアビリティ
気体ガス流量計 形 CMS□□□□は弊社独自開発のMEMSセンサを搭載した質量流量計です。多彩な機能を持ち、気体の温度・圧力の変化に影響されること無く、常に標準状態の流量値を出力します。 数多くの産業ガスに対応しており、パラメータの設定で対応ガス種の切り替えができます。
製品紹介動画
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小型
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気体流量計 形 CMS□□□□は卓上の実験などにも適した小型の流量計です。 また、独自の整流機構を内蔵することにより、上流直管を不要としました。エルボー配管の直後などスペースの無い場所への設置も可能です。
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ハイレンジアビリティ
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最大流量レンジの1/100の流量まで表示可能です。従来は複数台の流量計を使用レンジに合わせて、切り替えが必要でしたが、少ない台数で使用レンジをカバーできます。
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デジタル表示
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視認性の良いデジタル表示です。
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多彩な機能
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- 様々な配管接続
- アナログ流量出力
- 積算パルス出力
- イベント出力
- 通信機能
オプション部品
コネクター付きケーブル2m 通信なし用（形番：81446594-005）、5m(形番：81446594-006）
コネクター付きケーブル2m RS-485通信付き用（形番：81446594-007）、5m(形番：81446594-008）
制御機器に関するお問い合わせ
コンタクトセンター
営業日：9:30～12:00／13:00～17:00
（土曜、日曜、祝祭日、および年末年始、春季、夏季の弊社休業日を除く）