大流量マスフローメータ　形 CML□□□

大流量マスフローメータ 形 CML□□□は、検出部に当社独自開発の熱式流速センサ「μFセンサ」を採用 した、高精度・ワイドレンジ・高信頼性を特長とする気体用の大流量質量流量計です。
大流量マスフローメータ 形 CML□□□は、検出部に当社独自開発の熱式流速センサ「μFセンサ」を採用した、高精度・ワイドレンジ・高信頼性を特長とする気体用の大流量質量流量計です。マイクロマシニング技術を駆使して製作される微細な流速センサと独自の流路設計技術との融合により、従来にない高精度と160：1のハイレンジアビリティを実現した製品です。