該產品是本公司具有優異回應性和控制性的質量流量控制器，透過大幅縮小尺寸並發展數位通訊功能，有助於製造裝置的小型化、總成本的削減和製造現場的數位化轉型。
- 小型化有助於節省空間
- 輕鬆構建數位通訊
- 強大的抗干擾能力
應用
PVD(Physical Vapor Deposition)
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提供氬氣等氣體以控制製程室的真空度。
對來自等離子體電源的強雜訊具有耐噪性，優秀的控制性和高精度有助於準確控制真空度。
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