응답성 및 제어성이 뛰어난 당사 매스 플로우 컨트롤러를 대폭 소형화하여 디지털 통신 기능을 발전시킴으로써 제조 장치의 소형화, 토탈 비용 절감, 제조 현장의 DX에 공헌하는 제품입니다.
- 소형화로 공간 절약에 기여
- 디지털 통신을 용이하게 구축
- 강력한 내노이즈성
어플리케이션
PVD(Physical Vapor Deposition)
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프로세스 챔버의 진공도를 제어하기 위해 아르곤 가스 등을 공급합니다.
플라즈마 전원에서의 강한 노이즈에 대한 내노이즈성, 진공도를 정확하게 제어하기 위해 뛰어난 제어성과 고정밀도가 공헌합니다.
제품 관련 문의
대표 전화
영업일：9:00~12:00 / 13:00~18:00
(주말, 공휴일 제외)