![HPQ-D.jpg](/jp/files/default/2023-04/HPQ-D.jpg)
確実な漏液の検出を実現
- メンテナンスフリーの光学式漏液スイッチ
- PFAで本体とケーブルを保護
- 動作表示灯付き
アンプ内蔵形漏液スイッチ 形 HPQ-D□□ は、主に半導体製造装置 や液晶製造装置(前工程)において 酸、アルカリ系や有機溶剤系の薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うスイッチです。
スイッチの厚みは約10mmでますます小型化する装置にも十分設置が可能です。また、漏液発生後、いち早く装置を立ち上げるためワンタッチでスイッチヘッドを着脱できる機構となっています。
製品紹介動画
画像
![HPQ-D製品紹介動画](/jp/files/default/styles/hero_image/public/2023-05/HPQ-D_J_thumbnail.jpg?itok=D_ia1234)
特長
画像
![HPQ-D_2](/jp/files/default/styles/hero_image/public/2023-03/HPQ-D_2.jpg?itok=cQQdcucI)
画像
![HPQ-D_3](/jp/files/default/styles/hero_image/public/2023-03/HPQ-D_3.jpg?itok=xt4PY_ZE)
画像
![HPQ-D_4](/jp/files/default/styles/hero_image/public/2023-03/HPQ-D_4.jpg?itok=-oHPuX7r)
画像
![HPQ-D_genri](/jp/files/default/styles/hero_image/public/2023-03/HPQ-D_genri.jpg?itok=wehj-KSE)
- メンテナンスフリーの光学式漏液スイッチ
液体の非検出時(入光)と検出時(遮光)のレベル差を十分に確保し、安定した検出が可能です。
感度調整は不要で、取り付け後すぐにご使用いただけます。 - 酸・アルカリ系薬液やIPA、純水、フロリナート、ガルデンなど
防爆対応が必要な場合にはファイバタイプをご選定ください。
フロリナートは3M社、ガルデンはソルベイソレクシス社の登録商標です。 - PFAで本体とケーブルを保護
ブラケットは酸・アルカリ系薬液ではPVC、有機溶剤系ではPFA(一部、SUS)を準備しております。 - 簡単メンテナンス
漏水検出後の復帰作業も従来の検知帯や吸紙式と違い、検出面の拭き取りで再立ち上げが迅速に行えます。 - 動作表示灯付き
スイッチの状態を本体側で確認が可能です。 正常時には緑LED点灯、異常時には橙LED点灯となります。
ラインナップ
形 番 | 仕 様 |
---|---|
HPQ-D11 | NC、NPN、PVCブラケットタイプ |
HPQ-D12 | NC、PNP、PVCブラケットタイプ |
HPQ-D21 | NC、NPN、PFAブラケットタイプ |
HPQ-D13 | NO、NPN、PVCブラケットタイプ |
HPQ-D23 | NO、NPN、PFAブラケットタイプ |
制御機器に関するお問い合わせ
コンタクトセンター
営業日:9:30~12:00/13:00~17:00
(土曜、日曜、祝祭日、および年末年始、春季、夏季の弊社休業日を除く)