タンク液面の上下限検出に
- アンプ内蔵形で主に半導体、FPD製造装置で、サイトチューブやレベルゲージパイプに取り付け、液面レベルを検出
- 透過屈折方式採用により入光/遮光のレベル差を十分に確保
- 透過率の悪い液体(レジスト液、廃液)や泡や水滴による誤動作が少ない検出方式を採用
製品紹介動画
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特長
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- 様々なパイプ径に対応
取り付け可能はパイプ外径φ8~13(肉厚1mm )に対応します。推奨材質はPFAです。
その他材質につきましてはお問い合わせください。 - 液面の繰り返し高精度検出を実現
光軸に1mm幅のスリットを内蔵し、±0.5mmの高い繰り返し検出精度を実現します。 - 連装取り付け時も動作確認や調整が容易
側面にオペレーション部を配置することで、操作、動作確認がよういです。
LO/DO切り替えスイッチ付きで出力動作を変えたい際にも1機種で対応が可能となります。また、動作表示灯との組み合わせでI/Oチェックなども行えます。 - 出力形態はPNPタイプもラインナップ
輸出装置にてご要望の多いPNP出力タイプも標準でラインナップしています。
検出原理
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