タンク液面の上下限検出に
- アンプ内蔵形で主に半導体、FPD製造装置で、サイトチューブやレベルゲージパイプに取り付け、液面レベルを検出
- 透過屈折方式採用により入光／遮光のレベル差を十分に確保
- 透過率の悪い液体（レジスト液、廃液）や泡や水滴による誤動作が少ない検出方式を採用
| 形番 | 概要 |
|---|---|
| HPQ-T1 | 取り付けパイプ径φ8～13、NPN出力 |
| HPQ-T1-002 | 取り付けパイプ径φ8～13、NPN出力、ライトオン、 感度ボリューム調整付き |
| HPQ-T1-003 | 取り付けパイプ径φ8～13、NPN出力、ダークオン、感度ボリューム調整付き |
| HPQ-T1-004 | 取り付けパイプ径φ3～7、NPN出力 |
| HPQ-T2 | 取り付けパイプ径φ8～13 、 PNP出力 |
| HPQ-T2-005 | 取り付けパイプ径φ3～7、PNP出力 |
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