形 MPC□□□□は、パネルマウントで高度な流量制御を実現するマスフローコントローラです。
- 小型・軽量
- 簡単操作・簡単取付
- イージーオペレーション
- 小型・軽量（マスクサイズ :48mm、奥行き:73.7mm、300g）
- 簡単操作・見やすいデジタル表示
- 高速制御（設定値到達まで 1 sec）
- 多彩な機能を装備
- 流量積算
- 流量警報出力
- マルチ流量設定
- ガス種類切替え
- スロースタート
- 自動遮断機能
- アナログ入出力（Opt.）
- RS-485通信機能（Opt.）
- パソコンローダ など
- 設置性の容易性
仕様
| 形番 | MPC9500 | MPC0002 | MPC0005 | MPC0020 | |
|---|---|---|---|---|---|
| バルブ方式 | 比例ソレノイドバルブ | ||||
| バルブ動作 | 非通電時-閉(N.C.) | ||||
| 標準フルスケール流量 | 0.500 | 2.00 | 5.00 | 20.0 | |
| (窒素換算値) | L/min(standard) | L/min(standard) | L/min(standard) | L/min(standard) | |
| 標準対応ガス種類 | 窒素/空気,アルゴン,炭酸ガス(CO2) | ||||
| 但し,塩素,硫黄,酸等の腐食成分を含まない乾燥気体であること。 | |||||
| また,ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体であること。 | |||||
| 圧力 | 動作差圧範囲 | 0.3MPa以下 | 0.05～0.3Mpa | ||
| 耐圧 | 0.5MPa(gauge) | ||||
| 流量設定 | 設定方法 | (1)キー操作 (2)外部設定電圧入力(アナログ入出力機能付きモデルのみ) (3)ローダ通信（MPCシリーズ用ローダパッケージMLP200が必要） (4)通信(RS-485通信機能付きモデルのみ) | |||
| イベント出力 | 出力数 | 2点 | |||
| 外部接点入力 | 入力数 | 2点 | |||
| 電源 | 定格 | DC 24V,消費電流300mA最大 | |||
| 接ガス部材質 | 黄銅(ニッケルめっき),ステンレス,テフロン,フッ素ゴム | ||||
| 接続方式 | Rc1/8 | ||||
| 質量 | 約300g | ||||
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