熱式微小液体流量計　形 F7M

熱式MEMSセンサと耐食性の高い石英ガラス製流路を組み合わせることにより、従来の計測方式では再現性の高い計測が難しかった数mL/min の微小液体流量の計測を実現しました。

流体状態の変化（気泡、脈動、流体温度等）の影響を受けにくく、計測対象流体の補正が容易（流体の熱伝導率にて補正）な使い易さを開発コンセプトとしました。ポンプ回転数、重量測定、流体供給時間の管理等の代替手法から置き換えて瞬間流量・積算流量を計測することにより、より確実な計測数値に基づく製造工程の品質管理や工程異常検知が可能になりました。

製品紹介動画

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0.1mL/min を計測可能

MEMSセンシング技術を活用した熱式計測原理を採用し、 従来は安定した計測が困難であった数mL/min の微小流量計測を可能としました。

（計測流量範囲：0.1～10mL/min、0.3～30mL/min、0.5～50mL/min）

小型・軽量、取付け簡単

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従来製品と比べて小型・軽量になりました。

別置きの変換器（アンプ）も不要です。

付属の取付けブラケットを使用して、上面（水平配管時）から平易に取付けられます。

また垂直配管（流れ方向：下→上）への設置も可能です。

ストレート流路

ストレート流路であるため圧力損失が小さく、また液溜りが無く洗浄性に優れています。

高い汎用性

IP65保護構造に準拠しています。

製品外面に一切の金属材料を使用していませんので液体飛沫を受ける環境でも使用でき、腐食性流体への耐性が向上しました。

接液部を石英ガラス（流路）・フッ素樹脂（継手）にて構成し、センサは接液しませんので、 多様な流体（石英ガラス・フッ素樹脂を腐食させない流体）に使用できます。

従来製品との比較

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F7Mの計測原理

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補正前と補正後の出力特性

計測レンジは流体の熱伝導率・密度の影響を受けて変化しますが、補正機能を用いて出力特性を合わせ込むことが可能です。

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