열식 미소 액체 유량계 Model F7M

열식 MEMS 센서와 내식성이 높은 석영 유리 재질의 유로를 조합하여, 기존의 계측 방식으로는 재현성 높은 계측이 어려웠던 몇 mL/min의 미소 액체 유량을 계측할 수 있습니다.

유체 상태 변화(기포, 맥동, 유체 온도 등)의 영향을 잘 받지 않아 계측 대상 유체의 보정이 용이(유체의 열전도율로 보정)한 사용이 용이성을 개발 콘셉트로 했습니다. 펌프 회전수 관리/중량 측정/유체 공급 시간의 관리 등의 대체 수단 대신, 순간 유량과 적산 유량을 계측함으로써, 보다 확실한 계측 수치에 따른 제조 공정의 품질 관리나 공정 이상 검지가 가능합니다.

0.1mL/min 측정 가능

MEMS 센싱 기술을 활용한 열식 계측 원리를 채용하여, 기존에는 안정된 계측이 여러웠던 몇 mL/min의 미소 유량을 계측할 수 있습니다.

(계측 유량 범위: 0.1~10mL/min, 0.3~30mL/min, 0.5~50mL/min)

소형, 경량, 간단 설치

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기존 제품보다 소형·경량입니다.

별도의 변환기(앰프)도 필요 없습니다.

부속된 설치 브라켓을 사용하여 상면(수평 배관 시)부터 손쉽게 설치할 수 있습니다.

또한, 수직 배관(흐름 방향: 아래→위)에도 설치할 수 있습니다.

스트레이트 유로

스트레이트 유로 구조로 압력 손실이 적으며, 액체 막힘이 없어 세정성이 뛰어납니다.

높은 범용성

IP65 보호 구조에 준거합니다.

제품 표면에 금속 재료를 전혀 사용하지 않아 액체 비말하는 환경에서도 사용할 수 있으며, 부식성 유체에 대한 내성이 향상되었습니다.

접액부를 석영 유리(유로)·불소 수지(이음쇠)로 구성하여 센서는 접액하지 않으므로, 다양한 유체(석영 유리, 불소 수지를 부식시키지 않는 유체)에 사용할 수 있습니다.

기존 제품과의 비교

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Model F7M의 계측 원리

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보정 전/후의 출력 특성

계측 레인지는 유체의 열전도율 및 밀도의 영향을 받아 변화하는데, 보정 기능을 이용해 출력 특성을 맞출 수 있습니다.

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