소형 액체 유량계

열식 미소 액체 유량계 Model F7M

Model No.
F7M
F7M-05

열식 MEMS 센서와 내식성이 높은 석영 유리 재질의 유로를 조합한 열식 미소 액체 유량계

  • 몇 mL/min의 미소 유량을 계측 가능
  • 소형·경량, 간단 설치
  • 설치 장소 및 유체에 관계 없이 설치
  • 스트레이트 유로

카탈로그

4건
[카탈로그 / 한국어] WET PROCESS 셀렉션 가이드 센서/스위치/화이버/유량계
자료 번호
CP-PC-2214K-05
Model No.
HPQ-□□□, HPF-□□□□, YYQZ□□, F7M
[카탈로그 / 한국어] 열식 미소 액체 유량계 Model F7M
자료 번호
CP-PC-1593K-03
Model No.
F7M
[Catalog / English] Micro Flow Rate Liquid Flow Meter
자료 번호
CP-PC-1593E
Model No.
F7M
[Catalog / English] Equipment and Application Overview -Wafer Cleaning Equipment-
자료 번호
CP-PC-9000E
Model No.
無し 

취급 설명서

2건
[Manual / English] Micro Flow Rate Liquid Flow Meter Model F7M User's Manual
자료 번호
CP-SP-1421E
Model No.
F7M
[Manual / English] User's Manual for Smart Loader Package Model SLP-F7M for Micro Flow Rate Liquid Flow Meter Model F7M
자료 번호
CP-SP-1423E
Model No.
SLP-F7MJ91

Case studies and white papers

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소형 액체 유량계

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