エアマスフローセンサ　形 MCS100

適用アプリケーションと推奨ポイント

ガス検知器、大気分析器、エアサンプラー等での吸引流量の計測・制御

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• ポンプにて吸引する流量を、周囲温度の変動や大気圧の変化の影響を受けずに質量流量として 計測できます。
• バッテリー駆動が可能なため、ハンドキャリー機器に搭載できます。 

酸素濃縮器での酸素供給流量の計測・制御

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• 供給する酸素流量(*)を室内温度や設置場所の標高の影響を受けずに質量流量として計測できます。
• フロート式流量計からの置換えに好適です。
  • 濃度95%、圧力50kPaを上限とした酸素に使用可能です。
  • 本製品の接ガス部には酸素禁油処理は施していません。

ワイヤボンダ等でのパージ、冷却流量の管理

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• かげろうを取り除くためのエアパージ流量の計測。
• 酸化防止のための窒素パージ流量の計測。
• フロート式流量計や圧力ゲージからの置換えに好適です。 

微小電子部品・光学部品の吸着・実装の確認

• 高速タクトの吸着確認に使用できる超高速応答性。
• 真空ノズルの近傍に設置可能（吸着確認に時間遅れが生じません）。
• 真空センサでは出力値に変化が生じない極く僅かな流量変化を検知可能。
• 質量流量計測であり、吸引（真空）圧力の変動の影響を受け難い。
• ノズルのつまりや先端の潰れをノズル開放時の吸引流量の変化にて検知可能。