Model MCS100은, 수백만대의 출하 실적을 가지는 아즈빌 독자적인 MEMS 센서가 탑재된 고속 응답, 소형·경량의 에어 매스 플로우 센서입니다.
- 5ms의 초고속 응답
- 불과 9g의 소형 경량
- 설치 자세가 자유롭고 전후의 직관 길이 불필요
가스 검지기, 대기 분석기, 에어 샘플러 등에서의 흡인 유량 계측·제어
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- 펌프로 흡인하는 유량을 주위 온도의 변동이나 대기압 변화의 영향을 받지 않고 질량 유량으로서 계측할 수 있습니다.
- 배터리 구동이 가능하므로 핸드 캐리 기기에 탑재할 수 있습니다.
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산소 농축기에서의 산소 공급 유량 계측·제어
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- 공급하는 산소 유량(*)을 실내 온도나 설치 장소의 해발의 영향을 받지 않고 질량 유량으로서 계측할 수 있습니다.
- 플로트식 유량계에서 교체 시 적합합니다.
- 농도 95%, 압력 50kPa를 상한으로 한 산소에 사용 가능합니다.
- 본 제품의 접가스부에는 산소 금유 처리는 실시되어 있지 않습니다.
와이어 본더 등에서의 퍼지, 냉각 유량 관리
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- 잔류 가스를 제거하기 위한 에어 퍼지 유량의 계측.
- 산화 방지를 위한 질소 퍼지 유량 계측.
- 플로트식 유량계 및 압력 게이지에서 교체 시 적합합니다.
미소 전자 부품·광학 부품 흡착·장착 확인
- 고속 택트의 흡착 확인에 사용할 수 있는 초고속 응답성.
- 진공 노즐 근방에 설치 가능(흡착 확인에 시간 지연이 발생하지 않습니다).
- 진공 센서에서는 출력값에 변화가 생기지 않는 극히 미미한 유량 변화를 검지 가능.
- 질량 유량계 측으로 흡인(진공) 압력의 변동의 영향을 받기 어렵다.
- 노즐 막힘이나 선단의 찌그러짐을 노즐 개방 시 흡인 유량 변화로 검지 가능.
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영업일：9:00~12:00 / 13:00~18:00
(주말, 공휴일 제외)