에어 매스 플로우 센서 Model MCS100

Model MCS100은 수백만 대의 출하 실적을 가진 아즈빌 독자적인 MEMS 센서가 탑재된 고속 응답, 소형·경량의 에어 매스 플로우 센서입니다. 열식 MEMS 센서와 압력 손실이 적은 유로를 조합하여 몇 mL/min에서 10L/min까지의 기체 질량 유량을 5ms의 고속 응답으로 계측합니다.

제품 소개 영상

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질량 유량 계측

유체의 온도와 압력에 관계 없이, 온도 보정·기압 보정을 하지 않고 표준 상태(20℃, 1기압)로 환산한 유량값을 출력합니다.

⇒ 유체 온도나 압력이 자주 변화할 사용 조건 및 사용 장소의 해발이 정해지지 않는 장치 탑재에 적합

소형·경량

설치 장소를 가리지 않습니다(33.5 x 10.5x 17.0 mm, 9g)

⇒ 설치 공간이 한정되어 있는 기기 탑재에 적합

5ms의 초고속 응답

⇒ 미세한 유량 차이 및 변화를 검출할 수 있으며, 고속 택트의 어플리케이션에서의 유량 계측에 적합

정/역 양방향 계측

⇒ 흐름 방향 감지, 흐름 방향이 바뀌는 계장에 적합

저소비 전력(24Vdc 구동시 12mA max.)

⇒ 배터리 구동의 핸드 캐리 기기에 탑재 시 적합

설치 자세 자유, 앞뒤 직관 불필요

⇒ 실험실이나 다양한 산업 어플리케이션의 간이적인 유량 계측 용도에 적합

유량 레인지 라인업

단방향 유량 측정 모델

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MCS100A104 : 0 ～ 3L/min

MCS100A112 : 0 ～ 500mL/min

MCS100A116 : 0 ～ 5L/min

MCS100A120 : 0 ～ 10L/min 

양방향 흐름 계측 모델

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MCS100A100 : -3 ～ +3L/min

MCS100A108 : -500 ～ +500mL/min

MCS100A128 : -10 ～ +10L/min 

구조 사양

• 구조 사양
  접가스부: PPS수지(유로 바디), 세라믹(회로 기판), 황동(배관 접속부)
  커버 : PC 수지
• 배관 접속 방식: M5 암나사(황동 인서트)
• 사용 온도 범위: 0~50℃(주위 온도, 유체 온도 모두)
• 사용 압력 범위: -70~200kPa (출력 전압 정밀도 보증 범위는 0~200kPa)
• 내압: 300kPa

악세서리

멀티 채널 유량 표시기 Model MCW401

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공기 매스 플로우 센서 Model MCS100을 4대까지 접속할 수 있어 순시 유량값을 표시합니다.

• 오픈 콜렉터 스위치 출력 4점
• 미소 부품의 흡착, 장착 확인 어플리케이션에 적합한 4종류의 윈도우 컴패레이터 모드(Window comparator mode) 및 일반적인 유량 관리에 적합한 2종류의 히스테리시스 모드를 표준 장비
• RS-232C 통신 기능을 이용하여 PC나 시퀀스에서 본 기기의 파라미터 설정, 순시 유량값 확인, 스위치 출력의 동작 상태 감시가 가능
• 조합 가능 플로우 센서 모델

공기 매스 플로우 센서 Model MCS100용 유량 표시기 Model MCW100

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공기 매스 플로우 센서 Model MCS100을 접속할 수 있는 유량 표시기입니다. Model MCS100의 계측 유량 레인지를 설정하고, 내부에서 리니어 라이즈 연산 처리하고 순시 유량을 표시해, 스위치 신호를 출력할 수 있습니다. 또한, 5가지 동작모드를 갖추어 Model MCS100과 조합하여 미소 전자 부품의 진공흡착 확인, 간이적인 유량 표시, 유량 알람 출력 등의 용도로 사용할 수 있습니다. 그리고 표시에는 고휘도 액정(LCD)을 채용해, 식별성을 향상시켰습니다. 표시 색상은 녹색, 적색을 임의로 설정할 수 있으며, 스위치 출력 동작에 맞추어 표시 색상을 전환할 수 있습니다.