致正在為藥液輸送泵試運轉而感到困擾的您

您有這樣的困擾嗎?

 

關於藥液輸送泵 試運轉所面臨的難題

・試運轉耗時較長,且藥液浪費較多

・PID調整結果因操作人員而異

・各裝置的溫度控制穩定性不佳

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C1M藥液量供給
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ウエハ偏心_コスト

 

試運轉時間長、藥液用量大、
各裝置的溫度控制性能不盡相同
由於在現場經過反覆試驗
來進行PID控制,
因此作業耗費大量時間

 

若選用Azbil 數位指示控制器,

利用從實際設備中取得的趨勢數據,透過 PID模擬器 來解決問題。

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C2C3_PID模擬器
優點①

透過視覺化調整PID參數,實現穩定控制

透過邊確認各波形邊使用PID滑桿進行調整,可協助您輕鬆獲得所需的結果。

優點②

透過多樣化的參數有效調整運轉條件

可在電腦上變更設定值、製程初始值、外擾設定等運行條件。
藉此,可縮短試運轉時間,並有助於減少試運轉次數 

\ 此外還有許多其他優點!/
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詳情請下載資料
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C1M Flyer(T)
CP-PC-9160-001T