薬液供給ポンプの試運転でお困りの方へ

こんなお悩みありませんか?

 

薬液供給ポンプの
試運転のお悩み

・試運転に時間がかかり、薬液の無駄が多い

・作業者によってPID調整結果にバラつきがある

・装置ごとの温度制御性が安定しない

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薬液供給ポンプ
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ウエハ偏心_コスト

 

試運転時間が長い、薬液資料量が多い、
装置ごとに温度制御性がバラついている
現場で試行錯誤して
PID制御を行っているため
作業に多くの時間がかかる

 

アズビルのデジタル指示調節計 SDCなら

実際の装置から取得したトレンドデータを活用し、PIDシミュレータ で課題を解決します。

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pid simulate
メリット①

PID値を視覚的に変更し、安定制御を実現

各波形を確認しながらPIDスライダで調整することで、必要な結果を簡単に得られるように支援します。

メリット②

多彩なパラメータによる効果的な運転条件変更

PC上で設定値やプロセス初期値、外乱設定などの運転条件を変更できます。
これにより、試運転時間を短縮し、試運転回数低減を支援します。 

\ その他にもいろいろなメリットがあります!/
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DLバナー
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c1m
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