タンク液面の上下限検出に
- アンプ内蔵形で主に半導体、FPD製造装置で、サイトチューブやレベルゲージパイプに取り付け、液面レベルを検出
- 透過屈折方式採用により入光/遮光のレベル差を十分に確保
- 透過率の悪い液体(レジスト液、廃液)や泡や水滴による誤動作が少ない検出方式を採用
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