タンク液面の上下限検出に アンプ内蔵形で主に半導体、FPD製造装置で、サイトチューブやレベルゲージパイプに取り付け、液面レベルを検出透過屈折方式採用により入光/遮光のレベル差を十分に確保透過率の悪い液体(レジスト液、廃液)や泡や水滴による誤動作が少ない検出方式を採用 概要 製品ラインナップ 事例 ダウンロード パイプ取り付け例 画像 関連情報 【用途特化形】アンプ内蔵形 漏液スイッチ 形 HPQ-D□□ 確実な漏液の検出を実現