小型液体流量計

熱式微小液体流量計　形 F7M

形番
F7M
F7M-05

熱式MEMSセンサと耐食性の高い石英ガラス製流路を組み合わせた熱式微小液体流量計

  • 数mL/minの微少流量を計測可能
  • 小型・軽量、取り付け簡単
  • 設置場所、流体を選ばない
  • ストレート流路

カタログ

5件
【カタログ／日本語】熱式微小液体流量計
資料番号
CP-PC-1593
形番
F7M
【カタログ／中国語】熱式微小液体流量計（中文）
資料番号
CP-PC-1593C
形番
F7M
【カタログ／英語】Micro Flow Rate Liquid Flow Meter
資料番号
CP-PC-1593E
形番
F7M
【カタログ／日本語】装置・アプリケーション概要　半導体／ウエハ洗浄装置
資料番号
CP-PC-9000
形番
無し 
【カタログ／英語】Equipment and Application Overview -Wafer Cleaning Equipment-
資料番号
CP-PC-9000E
形番
無し 

製品仕様書（スペックシート）

2件
【製品仕様書／日本語】熱式微小液体流量計　形 F7M
資料番号
CP-SS-1949
形番
F7M
【製品仕様書／英語】Micro Flow Rate Liquid Flow Meter Model F7M
資料番号
CP-SS-1949E
形番
F7M

取扱説明書

6件
【取扱説明書／日本語】熱式微小液体流量計　形 F7M　取扱説明書　詳細編
資料番号
CP-SP-1421
形番
F7M
【取扱説明書／中国語】熱式微小液体流量計 形 F7M 取扱説明書 詳細編 / Micro Flow Rate Liquid Flow Meter Model F7M User's Manual (中文)
資料番号
CP-SP-1421C
形番
F7M
【取扱説明書／英語】Micro Flow Rate Liquid Flow Meter Model F7M User's Manual
資料番号
CP-SP-1421E
形番
F7M
【取扱説明書／ドイツ語】Micro Flow Rate Liquid Flow Meter Model F7M User's Manual (独文)
資料番号
CP-SP-1421G
形番
F7M
【取扱説明書／日本語】熱式微小液体流量計 形 F7M用　スマートローダパッケージ SLP-F7M 取扱説明書
資料番号
CP-SP-1423
形番
SLP-F7M,F7M
【取扱説明書／英語】User's Manual for Smart Loader Package Model SLP-F7M for Micro Flow Rate Liquid Flow Meter Model F7M
資料番号
CP-SP-1423E
形番
SLP-F7MJ91

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