控制元件

更有效的濺鍍系統設計（真空設備）

可靠偵測旋轉分度工作台的微小行程變化 (3-5 mm)，且設定容易 -加工中心、旋轉分度工作台

專為醫藥品製造現場設計力求方便使用的氣體質量流量控制器

使用光電感測器取代雷射感測器，大幅降低成本

氣體切割機的火焰控制-藉由提升氣體流量的控制性，來獲得穩定的火焰，以提升切斷品質

[批次 / 枚葉晶圓清洗設備] 可靠的漏液檢測，豐富的產品陣容

質量流量控制器有助於減少工程工時

[批次 / 單晶圓清洗設備] 可靠偵測液位的全系列感測器

氣體滲碳爐的CP值控制-改善增碳氣體流量控制性，穩定CP值，獲得穩定的滲碳品質

有助於改善晶圓清洗中化學品應用的均勻性